Nilai target kalembaban relatif dina kamar bersih semikonduktor (FAB).

Nilai targét kalembaban rélatif dina kamar bersih semikonduktor (FAB) kira-kira 30 dugi ka 50%, ngamungkinkeun margin kasalahan anu sempit ± 1%, sapertos dina zona litografi - atanapi kirang dina pamrosésan ultraviolét jauh (DUV) zona - sedengkeun di tempat sanés tiasa santai dugi ka ± 5%.
Kusabab kalembaban relatif ngagaduhan sajumlah faktor anu tiasa ngirangan kinerja kamar bersih, kalebet:
1. Tumuwuhna baktéri;
2. rentang kanyamanan suhu kamar pikeun staf;
3. muatan éléktrostatik mucunghul;
4. korosi logam;
5. Kondensasi uap cai;
6. Degradasi litografi;
7. Nyerep cai.

Baktéri sareng rereged biologis sanésna (kapang, virus, jamur, mites) tiasa mekar di lingkungan anu kalembaban relatif langkung ti 60%. Sababaraha komunitas baktéri bisa tumuwuh dina kalembaban relatif leuwih ti 30%. Perusahaan percaya yén kalembaban kedah dikontrol dina kisaran 40% dugi ka 60%, anu tiasa ngaminimalkeun dampak baktéri sareng inféksi pernapasan.

Kalembaban relatif dina rentang 40% nepi ka 60% oge rentang sedeng pikeun kanyamanan manusa. Kalembaban anu kaleuleuwihan tiasa nyababkeun jalma-jalma kaambek, sedengkeun kalembaban di handap 30% tiasa nyababkeun jalma ngarasa garing, kulit retak, teu ngarareunah engapan sareng kasedih émosional.

Kalembaban anu luhur saleresna ngirangan akumulasi muatan éléktrostatik dina permukaan kamar bersih - hasil anu dipikahoyong. Kalembaban anu rendah cocog pikeun akumulasi muatan sareng sumber anu berpotensi ngarusak éléktrostatik. Nalika kalembaban relatif ngaleuwihan 50%, muatan éléktrostatik mimiti dissipate gancang, tapi lamun kalembaban relatif kirang ti 30%, aranjeunna bisa persist lila dina insulator atawa permukaan ungrounded.

Kalembaban relatif antara 35% sareng 40% tiasa dianggo salaku kompromi anu nyugemakeun, sareng kamar bersih semikonduktor umumna nganggo kadali tambahan pikeun ngawatesan akumulasi biaya éléktrostatik.

Laju seueur réaksi kimiawi, kalebet prosés korosi, bakal ningkat kalayan ningkatna kalembaban relatif. Kabéh surfaces kakeunaan hawa sabudeureun kamar bersih gancang.