Bengkel mikro-éléktronik kalayan aréa kamar bersih anu kawilang leutik sareng radius kawates saluran hawa balik anu dianggo pikeun ngadopsi skéma hawa sekundér tina sistem AC. Skéma ieu ogé biasa dianggo dinakamar beresihdina industri séjén sapertos farmasi sareng perawatan médis. Kusabab volume ventilasi pikeun nyumponan sarat kalembaban suhu kamar bersih umumna langkung handap tina volume ventilasi anu diperyogikeun pikeun ngahontal tingkat kabersihan, janten, bédana suhu antara hawa suplai sareng hawa uih deui leutik. Lamun skéma hawa balik primér dipaké, bédana suhu antara titik kaayaan hawa suplai jeung titik embun tina Unit AC badag, pemanasan sekundér diperlukeun, hasilna dina panas tiis offset dina prosés perlakuan hawa sarta konsumsi énergi leuwih. Lamun skéma hawa balik sekundér dipaké, hawa balik sekundér bisa dipaké pikeun ngaganti pemanasan sekundér tina skéma hawa balik primér. Sanajan adjustment tina ratio hawa mulang primér sarta sekundér rada kirang sénsitip ti adjustment tina panas sekundér, skéma hawa balik sekundér geus lega dipikawanoh salaku ukuran hemat énérgi AC di bengkel bersih mikro-éléktronik leutik tur sedeng-ukuran.
Candak bengkel bersih microelectronics kelas ISO 6 salaku conto, daérah bengkel bersih 1 000 m2, jangkungna siling 3 m. Parameter desain interior nyaéta suhu tn= (23±1) ℃, kalembaban relatif φn=50%±5%; Volume suplai hawa design nyaeta 171.000 m3 / h, ngeunaan 57 h-1 kali bursa hawa, sarta volume hawa seger nyaeta 25 500 m3 / h (nu prosés knalpot volume hawa 21 000 m3 / h, sarta sésana nyaéta tekanan positip leakage volume hawa). Beban panas anu wijaksana dina bengkel bersih nyaéta 258 kW (258 W / m2), rasio panas / kalembaban AC nyaéta ε = 35 000 kJ / kg, sareng bédana suhu hawa balik kamar nyaéta 4,5 ℃. Dina waktu ieu, volume hawa balik primér tina
Ieu ayeuna bentuk paling ilahar dipake tina purifikasi sistem AC di kamar bersih industri microelectronics, jenis ieu sistem bisa utamana dibagi kana tilu jenis: AHU + FFU; MAU+AHU+FFU; MAU + DC (coil garing) + FFU. Masing-masing gaduh kaunggulan sareng kalemahan sareng tempat anu cocog, pangaruh hemat energi utamina gumantung kana kinerja saringan sareng kipas sareng alat-alat sanés.
1) Sistim AHU + FFU.
Modeu sistem jinis ieu dianggo dina industri microelectronics salaku "cara misahkeun AC sareng fase purifikasi". Bisa jadi aya dua kaayaan: hiji nya éta sistem AC ngan ngurus hawa seger, sarta hawa seger diperlakukeun nanggung sagala beban panas sarta kalembaban tina kamar beresih jeung tindakan salaku hawa suplement pikeun nyaimbangkeun hawa knalpot sarta leakage tekanan positif tina kamar bersih, sistem ieu disebut oge sistem MAU + FFU; Anu sanésna nyaéta yén volume hawa seger waé henteu cekap pikeun nyumponan kabutuhan beban tiis sareng panas tina kamar anu bersih, atanapi kusabab hawa seger diolah tina kaayaan luar ka titik embun bédana enthalpy spésifik tina mesin anu dibutuhkeun ageung teuing, sareng bagian tina hawa jero ruangan (sarua sareng hawa uih deui) dipulangkeun ka unit perawatan AC, dicampurkeun sareng hawa seger pikeun perawatan panas sareng kalembaban, teras dikirim ka pasokan hawa. Dicampur jeung hawa balik kamar bersih sésana (sarua jeung hawa balik sekundér), asup ka Unit FFU lajeng ngirimkeun kana kamar bersih. Ti 1992 nepi ka 1994, panulis kadua makalah ieu cooperated jeung parusahaan Singaporean sarta ngarah leuwih ti 10 mahasiswa lulusan pikeun ilubiung dina desain AS-Hong Kong joint venture SAE Electronics Factory, nu diadopsi jenis dimungkinkeun tina AC purifikasi sarta sistem ventilasi. Proyék ieu ngagaduhan kamar bersih ISO Kelas 5 kirang langkung 6,000 m2 (1,500 m2 dikontrak ku Badan Atmosfer Jepang). Kamar AC disusun sajajar sareng sisi kamar bersih sapanjang témbok luar, sareng ngan ukur padeukeut sareng koridor. Hawa seger, hawa knalpot sareng pipa hawa balik pondok sareng disusun lancar.
2) Skéma MAU+AHU+FFU.
Leyuran ieu ilaharna kapanggih dina tutuwuhan microelectronics kalawan sababaraha syarat suhu jeung kalembaban sarta béda badag dina beban panas sarta kalembaban, sarta tingkat kabersihan oge luhur. Dina usum panas, hawa seger ieu leuwih tiis sarta dehumidified ka titik parameter tetep. Biasana cocog pikeun ngubaran hawa seger ka titik simpang tina garis enthalpy isometric jeung garis kalembaban relatif 95% tina kamar beresih jeung hawa sarta kalembaban wawakil atawa kamar beresih jeung volume hawa seger pangbadagna. Volume hawa MAU ditangtukeun nurutkeun pangabutuh unggal kamar bersih pikeun replenish hawa, sarta disebarkeun ka AHU unggal kamar beresih jeung pipa nurutkeun volume hawa seger diperlukeun, sarta dicampurkeun jeung sababaraha hawa balik jero rohangan pikeun perlakuan panas sarta kalembaban. Unit ieu nanggung sadaya beban panas sareng kalembaban sareng bagian tina beban rematik énggal tina kamar bersih anu dilayanan. Hawa anu dirawat ku unggal AHU dikirim ka plenum hawa suplai di unggal kamar bersih, sareng saatos campuran sekundér sareng hawa balik jero ruangan, éta dikirim ka kamar ku unit FFU.
Kauntungan utama tina solusi MAU + AHU + FFU nyaéta salian pikeun mastikeun kabersihan sareng tekanan positip, éta ogé ngajamin suhu anu béda sareng kalembaban relatif anu dipikabutuh pikeun produksi unggal prosés kamar bersih. Sanajan kitu, mindeng alatan jumlah AHU nyetél, nempatan wewengkon kamar téh badag, hawa seger kamar bersih, hawa balik, pipelines suplai hawa crisscross, nempatan spasi badag, perenah nu leuwih troublesome, pangropéa sarta manajemén leuwih hese tur kompléks, ku kituna, euweuh sarat husus sajauh mungkin pikeun nyegah pamakéan.
waktos pos: Mar-26-2024